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參數(shù)
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單位
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最小值
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典型值
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最大值
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備注
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光源
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-
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-
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SLD λ=840nm
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-
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測量范圍
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mm
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100
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-
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-
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根據(jù)需求可做到更大量程
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測量精度
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um
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-
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-
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0.1
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最小測量距離
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um
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10
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-
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-
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測量時間
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s
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-
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-
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0.5
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軸向分辨率
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um
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-
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-
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13
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光功率
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mw
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-
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-
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5
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根據(jù)需求可定制
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